Typ D350H.1, bestehend aus unter anderem: einziehbarer
Seitenverteiler, 7x \"Ebara\" Trockenpumpe Typ AAS200/100/70WN, 1x
\"Edwards\" mechanischer Booster Typ EH 2600 IND, 5x \"Trumpf\"
RF-Generator Typ PFG5000RF, 2x Typ PFG1000RF und 1x Typ PFG1600RF, 1x
\"Marx\"-Transformator, 4x 2-türiger elektrischer Schaltschrank, 3x
I-Kammer-Gasschrank, 1x \"Single\" Temperaturregler Typ STO
1-24-24-D2/ZGD (2010) und 2x Typ STO 1-6-12-D0/D2 (2010), kombinierte
Rohrleitungen und Stahlkonstruktion mit Plattform und Treppe,
benötigte Bodenfläche etwa 9000x8500 mm
Auktions-ID: A1-43459-4
