Die neuen leistungsstarken Trockenlaufpumpen:
Die ADH-Serie ist speziell für die
entwickelt für die anspruchsvollen Prozesse des Halbleiter- und
LED-Marktes,
Mit einer Saugleistung von 600-4500 m3/h.
Halbleiter: Hohe H2-Pumprate
Die Leistungsfähigkeit der ADH-Serie bringt folgende Vorteile in den
Prozess:
-ADL-Prozessleistung: hohe Pumpeffizienz von Leichtgasen
ermöglicht eine schnellere Kammerentleerung zwischen den
Prozessschritten
- Epitaxie und EUV: hohes Saugvermögen und hoher Durchfluss
Die Toleranz erfüllt die anspruchsvollsten Prozessspezifikationen
Adixen AD30K trockenlaufende Pumpe, Hochvakuum, AD 30 KL
Hersteller: Alcatel Adixen
Typ: AD30K. H
Baujahr: 2008
Adixen AD100K. H
Hersteller: Alcatel Adixen
Typ: AD100K. H
Baujahr: 2008
Vakuumpumpe:
Hersteller: AERZEN
Typ: GM 2000 CM-C
Drehzahl: 6000 U/min
Spannung: 200-460 V
Frequenz (Mineralöl/PFPE-Öl): 100 c/s
Maximale Saugleistung: 4035 m3/h
Maximale Drehzahl: 5920 U/min
Motorleistung S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Baujahr: 2008
Gewicht: 345 kg
Trockenlaufende Pumpe:
Hersteller: Adixen
Typ: BF ADP122
Baujahr: 2008
Leistung 1,5 kW
Maximale Saugleistung: 95 m3/h
Maximaler kontinuierlicher Eingangsdruck: 50 mbar
Maximaler Abgasdruck: 1200 mbar
Kühlwasser: 60 l/h
Drehzahl (Pumpe): 3000-3600 U/min
Betriebstemperatur der Pumpe: von 5 °C bis 40 °C
Einlaufflansch: DN 50 ISO-KF
Auspuffflansch: DN 40
Ungarn
