BROOKS INSTRUMENT SLA585081BAB1A2S1 SLA5800 Biotech MFC Digital gesteuerter Massendurc

SLA5800 Biotech - MFC - Digital gesteuerter Massendurchflussregler für Gas, Mass Flow Controller
elastomer-gedichteter Massendurchflussregler, Flussregelung, Durchflussmesser, Durchflussregler, Thermal Mass Flow
BROOKS INSTRUMENT Typ SLA585081BAB1A2S1
Ser. Nr. 01C00500222
Baujahr 2020 (Neu / unbenutzt in Originalverpackung)
Serie SLA5800 Biotech
Optionspaket Biotech Premium Packet Code T
Netzanschluss 13,5 - 27 VDC (Stecker M8, 5 Pin, männlich)
Leistungsaufnahme max. 10 Watt
Schnittstelle PROFINET (2x RJ-45)
Optische Anzeige 2 LEDs (NET / MOD)
Gasanschluss 6 mm Swagelok
Ventilausführung Öffner (Normally Closed)
Benutzergas O2 (Sauerstoff) Aktiv - Multiple / O2 (Sauerstoff), N2 (Stickstoff), CO2 (Kohlenstoffdioxid), AIR (Luft)
Kalibriergas N2 (Stickstoff)
Flussregelbereiche (Voll-Skala) 20000 sccm (20 Liter / Minute)
Maximaler Eingangsdruck 4500 psi (300 Bar)
Normaler Betrieb Druckdifferenzial 60 psig (4 Bar)
Steuerbereich 2 % bis 100 % der vollen Skala (Bereich des Mechanismus)
Typische Genauigkeit von 20 bis 100 % ± 0,9 % des Sollwerts für 20 bis 100 % der vollen Skala
Typische Genauigkeit von 2 bis 20 % ± 0,18 % der vollen Skala für 2 bis 20 % der vollen Skala
Wiederholgenauigkeit ± 0,2 % des Messwerts
Auflösung 0,1 % der vollen Skala
Typische Einstellzeit des Controllers <1000 msec, typical above 5% Full Scale (gemäß SEMI Richtlinie E-17-0600)
Betriebstemperaturbereich -14° C bis 65° C (Umgebung)
Abmessung B x H x T 37 x 125 x 145 mm
Gewicht 1,4 kg
Neu / unbenutzt in Originalverpackung; gebraucht