SLA5800 Biotech - MFC - Digital gesteuerter Massendurchflussregler
für Gas, Mass Flow Controller
elastomer-gedichteter
Massendurchflussregler, Flussregelung, Durchflussmesser,
Durchflussregler, Thermal Mass Flow
BROOKS INSTRUMENT Typ
SLA585081BAB1A2S1
Ser. Nr. 01C00500222
Baujahr 2020 (Neu
/ unbenutzt in Originalverpackung)
Serie SLA5800
Biotech
Optionspaket Biotech Premium Packet Code
T
Netzanschluss 13,5 - 27 VDC (Stecker M8, 5 Pin,
männlich)
Leistungsaufnahme max. 10 Watt
Schnittstelle
PROFINET (2x RJ-45)
Optische Anzeige 2 LEDs (NET /
MOD)
Gasanschluss 6 mm Swagelok
Ventilausführung
Öffner (Normally Closed)
Benutzergas O2 (Sauerstoff) Aktiv -
Multiple / O2 (Sauerstoff), N2 (Stickstoff), CO2 (Kohlenstoffdioxid),
AIR (Luft)
Kalibriergas N2 (Stickstoff)
Flussregelbereiche
(Voll-Skala) 20000 sccm (20 Liter / Minute)
Maximaler
Eingangsdruck 4500 psi (300 Bar)
Normaler Betrieb
Druckdifferenzial 60 psig (4 Bar)
Steuerbereich 2 % bis 100
% der vollen Skala (Bereich des Mechanismus)
Typische Genauigkeit
von 20 bis 100 % ± 0,9 % des Sollwerts für 20 bis 100 % der
vollen Skala
Typische Genauigkeit von 2 bis 20 % ± 0,18 % der
vollen Skala für 2 bis 20 % der vollen Skala
Wiederholgenauigkeit
± 0,2 % des Messwerts
Auflösung 0,1 % der vollen
Skala
Typische Einstellzeit des Controllers <1000 msec, typical
above 5% Full Scale (gemäß SEMI Richtlinie
E-17-0600)
Betriebstemperaturbereich -14° C bis 65° C
(Umgebung)
Abmessung B x H x T 37 x 125 x 145 mm
Gewicht
1,4 kg
Neu / unbenutzt in Originalverpackung; gebraucht
