Es stehen zwei baugleiche Messgeräte Keyence zur Verfügung.
Bildsensor: 1inch 6,6 Megapixel CMOS, Linse: Doppelt telezentrische
Linse. Weites Feld Durchmesser/Länge: 100mm/200mm, Hohe Präzision
Durchmesser/Länge: 25mm/125mm. Wiederholgenauigkeit: Ohne
Bühnenbewegung: +/-1µm(weites Feld), +/-0,5µm(hohe Präzision), mit
Bühnenbewegung: +/-2µm(weites Feld), +/-1,5µm(hohe Präzision).
Messgenauigkeit(+/-2 sigma): Ohne Bindung: +/-5µm(weites Feld),
+/-2µm(hohe Präzision), mit Bindung: +/- (7+0,02L)µm(weites Feld),
+/-(4 +0,02L)µm(hohe Präzision).