Vergrößerung und Messbereich (beim 15-Zoll-Monitor): Makro-Modus
Horizontal/Vertikal: 12x: 24mm/18mm, 25x: 12mm/9mm, 38x: 8mm/6mm, 50x:
4,5mm/3,4mm. Mikro-Modus Horizontal/Vertikal: 40x: 7,6mm/5,7mm, 80x:
3,8mm/2,9mm, 120x: 2,5mm/1,9mm, 160x: 1,9mm/1,4mm. Zoom: 1x-4x,
Messbare Höhe Weitfeldmodus/Hochvergrößerungsmodus: 10mm/1mm,
Display-Auflösung: 0,1µm. Wiederholgenauigkeit
Höhen/-Breitenmessung: 1µm/0,5µm, Messgenauigkeit
Höhen/-Breitenmessung: 2µm/5µm. Hubweg X/Y/Z: 184mm/88mm/90mm,
Drehung: +/-180°, Neigung: +/-30°, Arbeitsabstand: 75mm.
Dokumentation vorhanden.