Turbomolekulare Vakuumpumpe und Controller nicht vorhanden!
2× Leybold-Staubsauger CTR 90 CERAVAC
PFEIFFER IKR 251 kompakte Kaltkathodenanzeige
VAT 26432-KA41-0001/0319 Vakuumwinkelventil
Zusätzliches großes Mehrwert-Vakuumventil
Große Hochvakuumventilbaugruppe
Gashandhabung, Aktuierung und Prozesshardware
Betätigungssystem THC-8AWDS linearer Antrieb (400 mm Hub)
Verschiedene Sensoren, darunter Druck-, Temperatur- und
Schaltsensoren
Verschiedene Aktuatoren, darunter Magnetventile und Heizelemente
, CVD-Rahmen (ursprünglicher SP-500, nachgerüstet 2011)
Massenflusssteuerungsschrank (enthalten)
Sicherheit und Prozessschutz
RF & Leistungsbereitstellung
RF DRESSLER – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz
RFPP RF10S-Einheit
Advanced Energy MDX 500 (nicht funktionsfähig – lässt sich nicht
einschalten)
HF-Leistung AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz
TDK Lambda Netzteil GEN40-125
Steuereinheit & Elektronik
MKS Typ 252C-1-VPO Auspuffventilregler
MKS Typ 152 automatischer Druckregler
MKS Typ 600 automatischer Druckregler
MKS Typ 2708
19\" Rack-PC (kein Passwort für die Steuersoftware)
Auktions-ID:
A1-49139-3
