Die Ausrüstung umfasst ein vollständiges Vakuum-/CVD-System mit
Steuerungselektronik, Vakuumkomponenten, Hochvakuumpumpen,
HF-Stromversorgungen, Aktuatoren und Sensoren. Das ursprünglich 1998
hergestellte Fahrgestell wurde 2011 umfassend mit neueren Komponenten
modernisiert. Das System wird so verkauft, wie es ist, entweder für
Ersatzteile oder zur Reparatur. Das System war nicht vollständig
verbunden und hatte kein Passwort, was weitere Tests ausschließt.
Das System besteht aus folgenden Hauptkomponenten:
Vakuum- und
Pumpkomponenten Turbopumpe ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2 Leybold CTR 90 CERAVAC
Staubsauger PFEIFFER IKR 251
Kompakte Kaltkathode-Anzeige Vakuumwinkelventil TVA
26432-KA41-0001/0319
Großes
zusätzliches VAT-Vakuumventil Großer Satz
Hochvakuumventile Betätigungssystem: THC-8AWDS linearer Aktuator (400
mm Hub)
Verschiedene Sensoren, darunter Druck, Temperatur und Schalter
Verschiedene Aktuatoren, darunter Magnetventile und
Heizelemente CVD-Rahmen (ursprüngliches SP-500, modifiziert 2011)
Massenflusssteuerungsschrank (enthalten)
HF-Leistung und Leistung
Dressler RF-Verstärker – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56
MHz
RF10S
RFPP-Einheit Advanced Energy MDX 500 (nicht funktionsfähig – lässt
sich nicht einschalten)
HF-Leistung AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz
TDK Lambda GEN40-125
Netzteil Steuereinheit und Elektronik
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
Controller MKS Auspuffventilregler Typ 252C-1-VPO
MKS Typ 152
Automatischer Druckregler MKS Typ 600
Automatischer Druckregler MKS Typ 2708
19\" Rackmount-PC (kein Passwort für Steuersoftware) Das Palettieren
und Beladen wird vom Käufer vor Ort
durchgeführt
Auktions-ID: A1-47375-1
