Die Ausrüstung umfasst ein vollständiges Vakuum-/CVD-System mit
Steuerungselektronik, Vakuumkomponenten, Hochvakuumpumpen,
HF-Stromversorgungen, Aktuatoren und Sensoren. Das ursprünglich 1998
hergestellte Fahrgestell wurde 2011 umfassend mit neueren Komponenten
modernisiert. Laut den Systemprotokollen wurde er zuletzt 2021
verwendet.
Das System wird wie es ist, für Ersatzteile oder Reparaturen,
verkauft, da die Maschine nicht vollständig mit Strom versorgt oder
getestet wurde. Nur der elektrische Schrank war eingeschaltet. Das
System war nicht vollständig verbunden und hatte kein Passwort, was
weitere Tests oder Überprüfung der Einhaltung der
Sicherheitsstandards ausschließt.
Das System besteht aus folgenden Hauptkomponenten:
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2X Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC (1torr und 10torr)
1X VAT 26432-KA41-0001/0319 Vakuumwinkelventil
1X PFEIFFER IKR 251 HOCHVAKUUM-KOMPAKTE KALTKATHODE
1x breites HI-VAC-Ventil
1X Aktuierungssystem THC-8AWDS Linearer Antrieb 400mm
1x RF-Dressler – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W 13,56 MHz
Steuereinheit
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
1X Magnetronantrieb ADVANCED ENERGY MDX 500 (schaltet sich nicht
ein)
1X Cesar-RF-Netzteil
1X MKS, Typ 252, 252C-1-VPO, Auspuffventilsteuerung
1X MKS Typ 152 Automatischer Druckregler
1X 19\" Rack-Mount-Computer
Massenflusssteuerungsschrank (enthalten)
(kein Passwort für die Steuerungssoftware) Das Palettieren und
Beladen wird vom Käufer vor Ort
durchgeführt
Auktions-ID: A1-47375-2
