Mehrkammer-DC-Magnetron-Sputterlinie für
Roll-zu-Roll-Dünnfilmabscheidung, bestehend aus: 6x
DC-Magnetron-Prozesskammer RDM 1800 L (2009), 2x Zwischenkammer, 1x
Kühlkammer, 1x Rückspulkammer, 1 Abwickelraum, 21x \"Pfeiffer\"
Turbomolekularpumpe HiPace 2300 U (2009), teilweise mit eingebautem
Regler TC 1200, 2x \"Single\" Temperaturregelung (2009), 6x \"Trumpf\"
HF-Generator TruPlasma DC 3040, 1x Hauptstromschaltschrank, 2x
\"Seifert\" Wärmetauscher Typ RK-2114 AM (2009), 1x
\"Carrier\"-Kühlanlage (außen) Typ 3ORBO0342 Kältemittel R14A
(2009), 2x \"Leybold\" Vakuumeinheit SV630 B (2009) und 1x \"Leybold\"
Vakuumeinheit Typ D40 B und 1x SV630 B (2009) in schalldichten
Gehäusen, verschiedene Transportgeräte, Verwendete Bodenfläche etwa
27,500x12,500 mm
Auktions-ID: A1-43459-1
