XVAC 1450 Ofensystem
Sinterofen bis 1.450C, Serie XVAC
Technische Daten:
Ausführungsform Kaltwandsystem, Toplader,
Retortenofen-Chargiergestell.
Drei Substratebenen aus perforiertem Aluminiumoxid
Deckelverfahren Manuell
Heizelemente Molybdändisilizid
Nutzraumgröße 60 mm, Höhe 200 mm,
max. Temperatur 1.450 C (N2, Ar, Ar+H2)
1.400 – 1.450 C (Vakuum)
Gasleitungen 1
Die Gasspezies Stickstoff
Argon (Option)
Argon + max. 5 % H2 (alternativ) Vakuumpumpe Drehschieberpumpe Agilent
DS40M Enddruck