
EVG Lithoscale Maskless Exposure System
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Technische Daten
· ID 168185564Elektrotechnik, Elektronikteile
- Baujahr
- 2023
- Standort
- Munich, Germany
Identifikation
HerstellerEVG
ModellLithoscale
Positionsnummer8087731
Technik
Stückzahl1
Beschreibung
Hersteller: EVG
Modell: Lithoscale
Baujahr: 2023
Zustand Neu-Nie benutzt
Technische Konfiguration:
• Für maskenlose Belichtung von Wafergrößen bis zu 300 mm
• Hochpräziser Tisch mit berührungsloser Keilfehlerkompensation
• Selbstkalibrierung über integrierte Sensoren
• Erweiterbarkeit auf insgesamt bis zu zwei (2) Belichtungsköpfe für höchsten Durchsatz
• Separate Steuereinheit
• EVG CIM Framework Software
• Selbstdiagnose beim Anfahren der Maschine, automatische Initialisierung aller Motoren, Positionsendschalter, Sensoren und Pneumatik
• Inspektion auf Anfrage möglich
• PC-gesteuert
Modell: Lithoscale
Baujahr: 2023
Zustand Neu-Nie benutzt
Technische Konfiguration:
• Für maskenlose Belichtung von Wafergrößen bis zu 300 mm
• Hochpräziser Tisch mit berührungsloser Keilfehlerkompensation
• Selbstkalibrierung über integrierte Sensoren
• Erweiterbarkeit auf insgesamt bis zu zwei (2) Belichtungsköpfe für höchsten Durchsatz
• Separate Steuereinheit
• EVG CIM Framework Software
• Selbstdiagnose beim Anfahren der Maschine, automatische Initialisierung aller Motoren, Positionsendschalter, Sensoren und Pneumatik
• Inspektion auf Anfrage möglich
• PC-gesteuert
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