Hersteller: EVG
Modell: Lithoscale
Baujahr: 2023
Zustand Neu-Nie benutzt
Technische Konfiguration:
• Für maskenlose Belichtung von Wafergrößen bis zu 300 mm
• Hochpräziser Tisch mit berührungsloser Keilfehlerkompensation
• Selbstkalibrierung über integrierte Sensoren
• Erweiterbarkeit auf insgesamt bis zu zwei (2) Belichtungsköpfe
für höchsten Durchsatz
• Separate Steuereinheit
• EVG CIM Framework Software
• Selbstdiagnose beim Anfahren der Maschine, automatische
Initialisierung aller Motoren, Positionsendschalter, Sensoren und
Pneumatik
• Inspektion auf Anfrage möglich
• PC-gesteuert
