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EVG Lithoscale Maskless Exposure System

2023ID 168185564

2023ID 168185564

Geprüfter Anbieter
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Technische Daten

· ID 168185564
Quelle: Anbieterangaben

Elektrotechnik, Elektronikteile

Baujahr
2023
Standort
Munich, Germany

Identifikation

HerstellerEVG
ModellLithoscale
Positionsnummer8087731

Technik

Stückzahl1

Beschreibung

Hersteller: EVG

Modell: Lithoscale

Baujahr: 2023

Zustand Neu-Nie benutzt

Technische Konfiguration:

• Für maskenlose Belichtung von Wafergrößen bis zu 300 mm

• Hochpräziser Tisch mit berührungsloser Keilfehlerkompensation

• Selbstkalibrierung über integrierte Sensoren

• Erweiterbarkeit auf insgesamt bis zu zwei (2) Belichtungsköpfe für höchsten Durchsatz

• Separate Steuereinheit

• EVG CIM Framework Software

• Selbstdiagnose beim Anfahren der Maschine, automatische Initialisierung aller Motoren, Positionsendschalter, Sensoren und Pneumatik

• Inspektion auf Anfrage möglich

• PC-gesteuert

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